Характеристика оборудования
- Вакуумное отделение с одинаковым размером в 795mm позволяет пользователям менять положение нососа,перекрывать воздух и отделять катоды, тем самым улучшая гибкость рабочего процесса
- Новый дизайн газового разделительного устройства,не допустит дрифтинга газа между разделенными катодами,тем самым достигая лучшего эффекта разделения газа.
- Экструдированный алюминий в качестве опорной конструкции разделяет магнит и его ярмо от охлаждающей воды,во избежании изменения магнитного поля, из-за долгого замачивания в воде.
- Оснащена 3-5-ю секциями вспомогательных процессов разделительной системы.
- Серводвигатель выполняет регулирование транспорта с высокой точностью.
- Уменьшает объем входной / выходной камеры для повышения эффективности и снижения расходов.
- На крышке катода интегрированы газовая разделительная система и контроллер.Они соединяются для энергоснабжения.Различные среды в «ящике» делают процесс конфигурации более гибким.
- Каждый катод оснащен отдельной системой контроля.
- Каждая единица катода обеспечивает легкий механический и гидравлический подъем,таким образом достигает лучшей автоматизации.
- С использованием передового турбомолекулярного насоса на магнитной подвеске и винтового насоса, хорошо защищает от обратного масла, и обеспечивает надежность и эффективность оборудованию.